美國(guó)RENISHAW光柵尺

TONiC雷尼紹RENISHAW光柵尺

TONiC是RENISHAW一種超小型光柵產(chǎn)品，可讀取各種20 μm柵距

柵尺。其主要特征是IN-TRAC™參考零位，只需輕按按鈕即

可自動(dòng)調(diào)相，十分*特。TONiC系統(tǒng)包含讀數(shù)頭、模擬量或

數(shù)字量接口，以及直線或者圓形增量式光柵。直線柵尺包括

RGSZ輕薄型鍍金柵尺、RELM ZeroMet柵尺、RSLM不銹

鋼柵尺和RTLC-S自貼式鋼帶柵尺，同時(shí)也提供導(dǎo)軌安裝型

FASTRACK RTLC直線光柵系統(tǒng)。圓光柵包括RESM不銹鋼圓

光柵和超高精度REXM圓光柵。

工作原理……

TONiC采用雷尼紹***一代的*特光學(xué)濾波裝置，與

SiGNUM（*13頁(yè)）采用的設(shè)計(jì)類似，但作了三大重要改進(jìn)。

***，TONiC設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)優(yōu)化，信噪比有所提高。光學(xué)濾

波系統(tǒng)的這一改進(jìn)加上精選的**電子器件，大帶寬增量信

號(hào)可達(dá)到10 m/s的***速度，同時(shí)也是同類光柵中位置抖動(dòng)

（噪聲）***的。事實(shí)上，TONiC接口內(nèi)部的其他抗噪電子器

件進(jìn)一步增強(qiáng)了高分辨率型TONiC的抗噪功能，抖動(dòng)水平*為

0.51 nm RMS。

*二大改進(jìn)就是開(kāi)發(fā)出了完全集成的參考零位。如圖所

示，現(xiàn)在參考零位分離式探測(cè)器直接嵌入增量碼道線性光電二

*管陣列的中*，從而盡量避免出現(xiàn)扭擺失相。

TONiC的*三個(gè)改進(jìn)是將***動(dòng)態(tài)信號(hào)調(diào)節(jié)功能完全集成

到讀數(shù)頭中，也就是說(shuō)可以直接從讀數(shù)頭獲得經(jīng)過(guò)徹底處理的

信號(hào)，該信號(hào)通過(guò)自動(dòng)增益控制和自動(dòng)偏置控制功能進(jìn)行優(yōu)化

獲得非常低的SDE (±30 nm)。